Filmetrics R54-200

Filmetrics R54-200升级款方块电阻测试仪，保持 R50相同性能情况下提供遮光环境，能够支持半导体和化合物半导体应用，比如晶圆离子注入和外延生长片。

Filmetrics R54-200可配置为接触式四探针系统 (R54-200-4PP) 或非接触式涡流系统 (R54-200-EC)。

Filmetrics R54-300

Filmetrics R54-300维持了和200毫米晶圆测量系统同样的小体积，采用高精度的 X-Y-θ 样品台，能避免边缘效应和进行高密度测绘。R54-300采用小巧的台式结构，提供量测功能用于工艺优化。

Filmetrics R54-300可配置为接触式四探针系统 (R54-300-4PP) 或非接触式涡流系统 (R54-300-EC)。

Filmetrics R50-4PP

Filmetrics R50-4PP接触式四探针系统，可对金属层厚度、薄膜电阻、薄膜电阻率、薄膜电导和薄膜电导率进行测绘。十个量级跨度的超大测量范围和Z向大行程成就了R50-4PP在各种应用的超高适应性。

Filmetrics R50-200-4PP也可兼容较大尺寸样品的测量。

Filmetrics R50-EC

Filmetrics R50-EC非接触式涡流系统，可对金属层厚度、薄膜电阻、薄膜电阻率、薄膜电导和薄膜电导率进行测绘。非接触式涡流法电阻测量是测量敏感和/或柔性导电表面电阻和薄膜厚度的理想选择。

Filmetrics R50-200-EC也可兼容较大尺寸样品的测量。

Instruments

KLA Instruments提供一系列轮廓仪、纳米压痕仪、薄膜厚度仪、电阻测量仪以及缺陷检测和量测系统。对于行业专家、学术界和其他创新者，KLA Instruments提供值得信赖的测量技术，助力世界实现技术上的突破性发展。